采用HfO2/SiO2溶膠-凝膠薄膜制備衍射光柵

采用HfO2/SiO2溶膠-凝膠薄膜制備衍射光柵

采用溶膠-凝膠方法制備了具有光敏性的HfO2/SiO2溶膠-凝膠薄膜,并利用其光敏性制備了衍射光柵.采用XPS分析了薄膜的成份,證實了Hf元素的存在.并用橢偏儀測試了薄膜的折射率,結果證實了HfO2的加入確實提高了體系的折射率.利用其光敏性,采用X射線作曝光光源通過掩模進行曝光,利用曝光部分與未曝光部分的溶解度差,在薄膜上制備了高為0.8 μm、周期為1 μm的衍射光柵.

作 者： 謝永軍 趙福華 魏偉 趙小俠 趙衛 XIE Yong-jun ZHAO Fu-hua WEI Wei ZHAO Xiao-xia ZHAO Wei   作者單位： 中國科學院西安光學精密機械研究所,瞬態光學與光子技術國家重點實驗室,西安,710119  刊 名： 光子學報  ISTIC PKU 英文刊名： ACTA PHOTONICA SINICA  年，卷(期)： 2008 37(1)  分類號： O436.1  關鍵詞： 信息光學   HfO2/SiO2溶膠-凝膠   光柵   光敏  

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