柵網與偏壓對CHF3電子回旋共振放電等離子體特性的影響

柵網與偏壓對CHF3電子回旋共振放電等離子體特性的影響

研究了電子回旋共振等離子體增強化學氣相沉積系統中柵網的增加和柵網上施加+60V和-60V偏壓對CHF3放電等離子體特性的影響.發現在低微波功率下柵網與偏壓對等離子體中基團分布的影響較大,而高微波功率下的影響逐漸減小.這是由于低微波功率下等離子體中電子溫度較低,基團的分布同時受柵網鞘電場和電子碰撞分解的共同作用;而高微波功率下電子溫度較高,柵網鞘電場的作用減弱,基團分布主要取決于電子碰撞分解作用.

作 者： 葉超 杜偉 寧兆元 程珊華   作者單位： 蘇州大學物理系,蘇州,215006  刊 名： 物理學報  ISTIC SCI PKU 英文刊名： ACTA PHYSICA SINICA  年，卷(期)： 2003 52(7)  分類號： O4  關鍵詞： 電子回旋共振放電   CHF3分解   柵網   偏壓  

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