近紅外波段光子晶體的微細加工方法研究進展

近紅外波段光子晶體的微細加工方法研究進展

光子晶體及其在光電子領域的應用是目前國際上的研究熱點之一,是一種新型的光電子功能材料.在近紅外光通訊領域中,光子晶體(對應光子晶體晶格常數為亞微米)有非常重要的應用,可以制作許多以前所不能制作的高性能光學器件.如何制備用于光通訊領域的光子晶體越來越引起廣泛關注.本文綜述了近紅外波段光子晶體的微細加工制備方法的研究進展.

作 者： 汪揚 宋志棠 章寧琳 林成魯   作者單位： 中國科學院上海微系統與信息技術研究所信息功能材料國家重點實驗室,上海,200050  刊 名： 功能材料  ISTIC EI PKU 英文刊名： JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS  年，卷(期)： 2003 34(3)  分類號： O734  關鍵詞： 光子晶體   亞微米   微細加工制備方法  

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