射頻ICP離子源設計研究

射頻ICP離子源設計研究

本文介紹了射頻(RF)感應耦合等離子體(ICP)離子源的設計研究.對RF ICP的結構、離子流的引出以及離子流的均勻性、中性化和射頻匹配網絡進行了研究.

作 者： 許沭華 任兆杏 沈克明 翁堅   作者單位： 中國科學院等離子體物理研究所,安徽合肥,230031  刊 名： 真空科學與技術學報  ISTIC EI PKU 英文刊名： VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2002 22(4)  分類號： O461.1  關鍵詞： 射頻 離子源 感應耦合等離子體(ICP)  

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