真空發生器系統吸附響應時間的確定

時間:2023-04-30 06:42:52 數理化學論文 我要投稿
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真空發生器系統吸附響應時間的確定

真空發生器是一種重要的真空發生裝置,廣泛地應用于自動化生成領域.本文的目的是確定真空發生器系統的吸附響應時間以實現過程的精密控制.文中根據瞬變流理論和真空發生器的流量特性,建立了用于計算真空發生器吸附系統真空度時間變化以及吸附響應時間的數學模型,利用特征線方法進行了數值求解,數值模擬結果與實驗值吻合得相當好,從而證明了所建立的真空發生器系統吸附響應時間模型的正確性.

真空發生器系統吸附響應時間的確定

作 者: 姚朝暉 何楓 陳遠   作者單位: 清華大學工程力學系,北京,100084  刊 名: 真空科學與技術學報  ISTIC EI PKU 英文刊名: VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY  年,卷(期): 2002 22(3)  分類號: O35.10  關鍵詞: 真空發生器   流量特性   吸附響應時間   特征線法  

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