干涉法測量鋁薄膜的軸向應(yīng)力

干涉法測量鋁薄膜的軸向應(yīng)力

將干涉法測量圓薄膜應(yīng)力的方法推廣到橢圓形鋁薄膜,利用Stoney公式和牛頓環(huán)原理測量了常溫下鋁薄膜長軸和短軸方向上軸向應(yīng)力的大小,給出了應(yīng)力分布圖像.

作 者： 周思 陳迅馳 周惠君 王思慧 ZHOU Si CHEN Xun-chi ZHOU Hui-jun WANG Si-hui   作者單位： 南京大學(xué),物理學(xué)系,江蘇,南京,210089  刊 名： 物理實驗  PKU 英文刊名： PHYSICS EXPERIMENTATION  年，卷(期)： 2008 28(9)  分類號： O484.2  關(guān)鍵詞： 薄膜應(yīng)力   軸向應(yīng)力   切向應(yīng)力   Stoney公式   牛頓環(huán)   曲率半徑  

【干涉法測量鋁薄膜的軸向應(yīng)力】相關(guān)文章：

CVD摻硫金剛石薄膜的應(yīng)力研究04-26

交流量熱法測量SiO2薄膜的熱擴(kuò)散率04-27

掃描式法布里-珀羅干涉儀測量高空大氣風(fēng)速04-27

后張法預(yù)應(yīng)力混凝土橋梁的張拉04-27

構(gòu)造極坐標(biāo)中Airy應(yīng)力函數(shù)的觀察法04-26

先張法預(yù)應(yīng)力梁板施工方案04-27

基于永久散射體雷達(dá)干涉測量的蘇州地區(qū)沉降研究12-03

低溫拜耳法赤泥回收鋁、鈉工藝研究04-26

用電子散斑干涉法進(jìn)行結(jié)構(gòu)內(nèi)部微小缺陷檢測的研究04-26

疲勞裂紋電位法測量研究04-27