熱解碳化學氣相沉積中的多重定態和非平衡相變的研究

熱解碳化學氣相沉積中的多重定態和非平衡相變的研究

討論在熱解碳化學氣相沉積過程中出現的多重定態和非平衡相變這一典型的非平衡物理現象的機理和發展趨勢.通過理論分析和實驗結果的分析發現熱解碳化學氣相沉積的化學反應是一個典型的非平衡化學反應,其中在沉積過程中出現的生成碳黑的過程是一個典型的非平衡相變.在這一非平衡化學反應中,自由基的反應模型符合Schlogl模型.在這一非平衡化學反應中,有線性區和非線性區,線性區的產物是熱解碳,而非線性區是碳黑.在線性區,反應速率方程是唯一的、線性的,而在非線性區,反應速率方程是多重的、非線性的.

作 者： 閆桂沈 李賀軍 郝志彪   作者單位： 閆桂沈(西北工業大學材料科學與工程系,西安,710072；航天科技集團公司第四研究院四十三研究所,西安,710025)

李賀軍(西北工業大學材料科學與工程系,西安,710072)

郝志彪(航天科技集團公司第四研究院四十三研究所,西安,710025) 

刊 名： 物理學報  ISTIC SCI PKU 英文刊名： ACTA PHYSICA SINICA  年，卷(期)： 2002 51(2)  分類號： O4  關鍵詞： 非平衡化學反應   非平衡相變   化學氣相沉積   Schlogl模型   熱解碳  

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