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電子回旋共振等離子體用于聚四氟乙烯材料表面改性
在電子回旋共振(ECR)等離子體裝置中,使用Ar氣,N2氣,H2氣和普通空氣放電,對聚四氟乙烯(PTFE)材料進行表面處理以提高其表面粘結性能.詳細研究了在不同的放電氣壓,微波功率,處理時間,氣體種類的情況下,樣品表面的接觸角的變化.同時也討論了樣品導電性能和外觀等的變化.使用紅外吸收譜對樣品結構處理前后的變化進行了測量,對等離子體處理的機理進行了初步的討論.使用Langmuir探針測量了Ar氣和N2氣等離子體中的離子密度,用能量分析器測量了離子的能量.發現在對樣品的處理中,ECR等離子體的離子密度是影響表面性能的主要因素,離子能量的作用不明顯.
作 者： 溫曉輝 詹如娟 作者單位： 中國科學院結構分析開放實驗室,中國科學技術大學近代物理系,安徽合肥,230026 刊 名： 真空科學與技術學報 ISTIC EI PKU 英文刊名： VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY 年，卷(期)： 2002 22(5) 分類號： O539 關鍵詞： 電子回旋共振等離子體 表面改性 聚四氟乙烯 離子密度 離子能量【電子回旋共振等離子體用于聚四氟乙烯材料表面改性】相關文章：
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