SnO2/Si-NPA 復合薄膜氣敏傳感材料的酒敏特性研究

SnO2/Si-NPA 復合薄膜氣敏傳感材料的酒敏特性研究

應用勻膠旋涂和退火處理的方法將納米級SnO2和具有規則陣列結構和多孔結構的硅微米/納米結構復合體系硅納米孔柱陣列(Si-NPA)進行很好地復合,對復合材料的電阻酒敏特性進行了測試.結果表明,SnO2/Si-NPA與Si-NPA相比對酒精具有更高的靈敏度和更好的長期穩定性SnO2/Si-NPA良好的酒精敏感性能被歸因于復合薄膜材料既保持了襯底材料獨特的微納雙重結構,又保證了SnO2能夠發揮其在傳感方面的作用,即高靈敏度來自干其巨大的比表面積對酒精分子的物理吸附和材料對酒精分子化學吸附.通過工藝條件的進一步改進以及氣體標定系統和信號檢出系統進行配套設計與優化,可望開發出性能優異的酒敏傳感元件.

作 者： 陳紹軍 馮春岳 李新建 CHEN Shao-jun FENG Chun-yue LI Xin-jian   作者單位： 陳紹軍,CHEN Shao-jun(河源職業技術學院機電系,河源,517000;鄭州大學物理系,材料物理教育部重點實驗室,鄭州,450052)

馮春岳,李新建,FENG Chun-yue,LI Xin-jian(鄭州大學物理系,材料物理教育部重點實驗室,鄭州,450052) 

刊 名： 科學技術與工程  ISTIC 英文刊名： SCIENCE TECHNOLOGY AND ENGINEERING  年，卷(期)： 2008 8(8)  分類號： O484.42  關鍵詞： 硅納米孔柱陣列   酒敏特性   SnO2 氣體傳感器  

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