準(zhǔn)分子激光均束器及其研究進(jìn)展

準(zhǔn)分子激光均束器及其研究進(jìn)展

以準(zhǔn)分子激光在半導(dǎo)體微光刻技術(shù)、脈沖激光沉積、平板顯示器加工制造以及激光鉆孔中的應(yīng)用為例,闡述了準(zhǔn)分子激光光束均勻化的重要性;按照折射光學(xué)元件、衍射光學(xué)元件和混合光學(xué)元件分類的方法,分別對這三類準(zhǔn)分子激光均束器進(jìn)行了介紹,并對其特點(diǎn)、應(yīng)用和進(jìn)展情況進(jìn)行了綜述.

作 者： 裴文彥 周金運(yùn) 林清華   作者單位： 裴文彥(廣東工業(yè)大學(xué)實(shí)驗(yàn)教學(xué)部)

周金運(yùn),林清華(廣東工業(yè)大學(xué)物理與光電工程學(xué)院,廣東,廣州,510006) 

刊 名： 中國科技博覽  英文刊名： ZHONGGUO BAOZHUANG KEJI BOLAN  年，卷(期)： 2009 ""(7)  分類號： U305.7  關(guān)鍵詞： 準(zhǔn)分子激光   均束器   光刻   加工窗  

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