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常壓下工作的微機械陀螺的頻率和阻尼特性
對微機械陀螺振動式陀螺的頻率和阻尼特性進行了分析和模擬.以設計的一種微機械陀螺為模型,對其驅動和檢測方向的阻尼力系數進行了計算,利用MATLAB模擬了阻尼對靈敏度以及頻率特性的影響.得出了不僅頻率匹配對微機械陀螺的性能有重要影響,而且阻尼匹配也會影響陀螺的靈敏度和頻率特性.
作 者: 劉曉為 陳宏 陳偉平 陸學斌 韓天 LIU Xiao-wei CHEN Hong CHEN Wei-ping LU Xue-bin HAN Tian 作者單位: 哈爾濱工業大學MEMS中心,哈爾濱,150001 刊 名: 傳感技術學報 ISTIC PKU 英文刊名: CHINESE JOURNAL OF SENSORS AND ACTUATORS 年,卷(期): 2006 19(5) 分類號: V2 關鍵詞: 微機械電子系統 陀螺 阻尼匹配 頻率特性