薄膜測厚驗證QCM質量敏感性的方法研究

薄膜測厚驗證QCM質量敏感性的方法研究

石英晶體微量天平(QCM)是測量氣相薄膜沉積質量的精密儀器.QCM質量和頻率的相互作用受到眾多不確定因素的影響,因此需要進行驗證以取得更為精確的結果.文章從石英晶片的基本理論出發,以薄膜測厚為基礎,研究了氣相沉積石英晶體微量天平差頻變化率和沉積厚度變化率成線性關系,闡述了線性關系是驗證石英晶體微量天平的關鍵,并對測厚驗證質量敏感性的可行性進行了分析.

作 者： 田東波 于錢 閆少光 涂偉霞   作者單位： 田東波,于錢,閆少光(北京衛星環境工程研究所,北京,100094)

涂偉霞(北京化工大學,化學工程學院,分子與材料模擬實驗室,北京,100029) 

刊 名： 航天器環境工程  ISTIC 英文刊名： SPACECRAFT ENVIRONMENT ENGINEERING  年，卷(期)： 2008 25(5)  分類號： V417+.9  關鍵詞： QCM   線性關系   質量敏感性   測厚  

【薄膜測厚驗證QCM質量敏感性的方法研究】相關文章：

鄂爾多斯盆地巨厚黃土塬區非縱測線地震資料處理方法研究04-26

河道型水庫基于敏感性分區的營養狀態標準與評價方法研究04-25

RF濺射ZnO薄膜工藝與結構研究04-26

自持金剛石厚膜上沉積生長ZnO薄膜及發光特性04-26

類金剛石薄膜的紫外輻照研究04-27

關于蠶房墻體覆蓋塑料薄膜的研究04-26

黃土高原積溫變化的敏感性研究04-27

CVD摻硫金剛石薄膜的應力研究04-26

不同氧分壓下ZrO2薄膜特性研究04-26

高k柵介質薄膜材料研究進展04-26