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基于介觀壓阻效應的GaAs/AlAs/In0.1Ga0.9As貼膜微機械陀螺的設計
首先說明了微機械陀螺的四種傳統檢測方法的局限性,然后設計了一種新型的基于介觀壓阻效應的GaAs/ AlAs/In0.1Ga0.9As貼膜微機械陀螺,指出了該陀螺設計時應注意的幾個方面,并且利用介觀壓阻理論分析得出用共振隧穿薄膜作為敏感元件能將微機械陀螺的靈敏度提高一個數量級,證明了介觀壓阻效應的微陀螺比傳統壓阻檢測方式的微陀螺具有更高的靈敏度和精度.
作 者： 羅文華 溫廷敦 毛海央 熊繼軍 吳瑞 LUO Wenhua WEN Tingdun MAO Haiyang XIONG Jijun WU Rui 作者單位： 中北大學儀器科學與測試技術教育部重點實驗室,太原,030051 刊 名： 彈箭與制導學報 PKU 英文刊名： JOURNAL OF PROJECTILES, ROCKETS, MISSILES AND GUIDANCE 年，卷(期)： 2008 28(5) 分類號： V241.5 關鍵詞： 微機械陀螺 介觀壓阻效應 共振隧穿薄膜【基于介觀壓阻效應的GaAs/AlAs/In0.1Ga0.9As貼膜微機械】相關文章：
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