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三軸氣浮平臺供氣系統的研究
以三軸氣浮平臺為背景,介紹了三軸氣浮平臺供氣系統的系統構成.針對氣浮球軸承的使用環境,提出了供氣系統的精度和安全性能要求.設計了系統的過濾裝置、管道以及安全報警裝置,并提出了故障應急措施.實驗表明系統能對三軸氣浮平臺實驗提供有效安全的供氣保障.
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