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音叉式硅微機械振動陀螺儀的粘滯阻尼研究
粘滯阻尼的研究對硅微機械振動陀螺儀的設計至關重要.而品質因數的大小反映了阻尼特性.本文首先理論分析了硅微型機械振動陀螺儀粘滯阻尼的耗能,然后根據耗能分析給出了驅動結構和敏感結構的品質因數.
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