微機械梳狀驅動音叉陀螺的誤差源研究

微機械梳狀驅動音叉陀螺的誤差源研究

定性地討論了微機械梳狀驅動音叉陀螺特有的一些誤差源,主要有微機械結構的Brownian噪聲、電路噪聲、機械耦合誤差及電子機械耦合誤差等.對上述誤差源的認識是微結構制造和電路設計的基礎.

作 者： 李萬玉 阮愛武 羅晉生 馮培德 LI Wan-yu RUAN Ai-wu LUO Jin-sheng FENG Pei-de   作者單位： 李萬玉,馮培德,LI Wan-yu,FENG Pei-de(航空工業總公司第618研究所七室,陜西,西安,710065)

阮愛武,RUAN Ai-wu(西北工業大學,自動控制系,陜西,西安,710072)

羅晉生,LUO Jin-sheng(西安交通大學,電子與信息學院,陜西,西安,710049) 

刊 名： 航空學報  ISTIC EI PKU 英文刊名： ACTA AERONAUTICA ET ASTRONAUTICA SINICA  年，卷(期)： 1999 20(5)  分類號： V241.6  關鍵詞： 微機械梳狀驅動   音叉陀螺   Brownian噪聲   電路噪聲   機械耦合誤差   電子機械耦合誤差  

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