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真空羽流氣相沉積污染初步研究
從固體表面對氣體分子的作用著手分析氣相羽流沉積污染的內在機理,闡述了固體表面對氣體分子的物理吸附、化學吸附特性,給出吸附速率方程、脫附速率方程以及沉積速率方程,并通過區分貼壁吸附層、物理吸附層,重點研究了物理吸附層的脫附速率.選取有代表性的CO2、NH3、H2O以及N2H4等氣體,確定其物理吸附層脫附模型的參數,得到了與經驗脫附率曲線較為一致的理論脫附率曲線.分析了單組元肼催化分解姿控發動機對太陽能帆板的氣相沉積污染.
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