懸浮轉(zhuǎn)子式微機(jī)械陀螺儀的研究進(jìn)展
介紹了一種不同于振動(dòng)式微機(jī)械陀螺儀的新型微機(jī)電系統(tǒng)陀螺-懸浮轉(zhuǎn)子式微機(jī)械陀螺儀,并就國內(nèi)外關(guān)于磁懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺和靜電懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺研究的各種結(jié)構(gòu)及其工作原理、工藝和性能特點(diǎn)進(jìn)行了概述,以展示這一新穎微陀螺的研究現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢.
作 者：
崔峰 陳文元 蘇宇鋒 吳校生 CUI Feng CHEN Wen-yuan SU Yu-feng WU Xiao-sheng
作者單位：
上海交通大學(xué),微納米科學(xué)技術(shù)研究院,微米/納米加工技術(shù)國家級重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,上海,200030
刊 名：
壓電與聲光 ISTIC PKU
英文刊名：
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
年，卷(期)：
2005 27(3)
分類號：
V241.5
關(guān)鍵詞：
微機(jī)電系統(tǒng) 微機(jī)械陀螺 磁懸浮 靜電懸浮 轉(zhuǎn)子
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