EB-PVD法制備微層材料的研究

EB-PVD法制備微層材料的研究

簡要介紹了用于電子束物理氣相沉積的設備及其發展,闡述了利用該技術制備微層材料的優點,同時對制備工藝和相應的材料性能作了詳細的介紹,并指出使用電子束物理氣相沉積技術制備微層材料具有廣閱的發展前景.

作 者： 李曉海 陳貴清 韓杰才 孟松鶴 Li Xiaohai Chen Guiqing Han Jiecai Meng Songhe   作者單位： 哈爾濱工業大學復合材料與結構研究所,哈爾濱,150001  刊 名： 宇航材料工藝  ISTIC PKU 英文刊名： AEROSPACE MATERIALS & TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2005 35(6)  分類號： V25  關鍵詞： 電子束物理氣相沉積   微層材料   直接氣相沉積  

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