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光譜儀的微小型化
由于光譜儀的結構特點以及光譜儀廣泛的應用領域,在微小光譜儀的研究中可以采用多種方法和多種思路。比如改善AOTF的波長覆蓋范圍、波長分辨率和通光本領,可以使它能應用于各種光譜化學分析,而用這樣的元件可以制成結構簡單、性能良好、成本低廉的光譜儀,或者使用分辨率較高的中階梯光柵,與一般棱鏡結合,進行交叉色散,可以得到分辨率很高的二維光譜圖,所以可以根據微小光譜儀的本身特點和工作環(huán)境要求來進行設計。
微加工技術的發(fā)展以及MEMS、MOEMS的出現使許多學科技術的研究都朝著微驚訝及微小型化的方向發(fā)展,更需要一些特殊條件下(如外星、地下、深海、危險區(qū)等)的工作儀器。光譜儀在未來的新世紀必將出現高度智能化和微型化的趨勢,微型光譜儀可以說是微型儀器的一種。微型儀器實際上是具有儀器功能的MEMS/MOEMS產品,是MEMES技術的實際應用。微型儀器的核心技術之一是微型傳感技術,采用各種新原理、新概念的各類傳感器是實現微型儀器的關鍵和必要條件,F在儀器朝著微小型化、智能化的發(fā)展使我們又面臨一個新的考驗,也是我們發(fā)展的一個機遇。
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